完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 田春林 | - |
| dc.contributor.other | Yu-Chen Chu、Chuen-Lin Tien*、Hong-Yi Lin | - |
| dc.date | 108 | - |
| dc.date.accessioned | 2020-06-15T03:15:28Z | - |
| dc.date.available | 2020-06-15T03:15:28Z | - |
| dc.date.issued | 12-05-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://dspace.fcu.edu.tw/handle/2376/1336 | - |
| dc.relation.ispartofseries | Optics & Photonics Taiwan, International Conference (OPTIC 2019) | - |
| dc.relation.isversionof | 0775 | - |
| dc.title | Measurement of Residual Stress of Thin Film Coated on Silicon Wafer by Fringe Reflectometry and Fast Fourier Transform Method | - |
| dc.contributor.department | 電機工程學系 | - |
| dc.identifier.AccessionNumber | 0089 | - |
| teacher.country | 臺灣 | - |
| teacher.location | 中興大學 | - |
| teacher.media | 摘要集 | - |
| teacher.international | 國際性 | - |
| teacher.type | 會議論文 | - |
| 分類: | 會議論文 | |
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| 檔案 | 大小 | 格式 | |
|---|---|---|---|
| C108312CE110089_002.pdf Restricted Access | 232.07 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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