穿透式電子顯微鏡

Abstract

Abstract In this paper, we introduce the transmission electron microscope (TEM). Including the component of TEM and the limitations of TEM. By knowing the principle and the limitation of TEM, we can use it for observed the morphology of our specimen.

中文摘要

多數材料的改良和研發都藉由微觀結構的改善，因此表面分析技術就更顯得重要。表面分析領域的持續發展為提供科技進步的基礎。其領域中包含的技術有許多種：有進行元素分析的XPS/ESCA(X-射線光電子光譜/化學分析電子光譜)，結構分析的XRD (X-射線繞射分析)和觀察樣品表徵的TEM(穿透式電子顯微鏡)和SEM (掃描式電子顯微鏡)等等。而TEM的分辨率又高於SEM，雖然不如SEM為3D圖示，但也為一非常重要的分析儀器。此篇報告主要著重在穿透式電子顯微鏡(TEM)的介紹，大致分為三部分作介紹，分別為其工作原理、缺點(限制)和應用。在各部分再分割成各自的小部分來講解：工作原理從內部的構造配件開始介紹，缺點以儀器本身所造成的影像失真為主，應用範圍則為現今市場上常介的應用：例如，LED產業、半導體產業等。以淺顯的介紹希望大家可以能大致了解穿透式電子顯微鏡的作用。